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奈米科技製程實驗「儀器訓練課程」
  刊登日期:2007/2/26
 
主辦單位:
台灣聯合大學系統奈米科技研究中心
協辦單位: 台灣聯合大學系統奈米科技研究中心
授課地點: 新竹市光復路二段101號
報名費用: 3,000 元
報名方式: 通訊報名
開課時間: 2007/3/5(AM8:00) ~ 3/30(PM5:00)
報名時間: 2007/2/26(AM6:00) ~ 2/27(PM5:00)
 
 

  A:電子鎗真空蒸系統、直流金屬濺鍍系統。
B:電漿輔助化學氣相沉。
C:電感耦合式電漿蝕刻、反應離子蝕刻系統、反應性離子金屬蝕刻系統。
D:雙面對準、奈米壓印系統。
 

 


 
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